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                FT型快速退火爐選型和技術參數

                時間: 2019-03-07 12:58:37 瀏覽次數:
                FT型快速退火爐選型上可供參考的型號有:快速燒結爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐,進口快速退火爐,采用大功率紅外線輻射方式,配合腔體內鍍金反射層,
                       FT型快速退火爐選型上可供參考的型號有:快速燒結爐、RTP退火爐、快速升降溫爐、快速爐、RTP快速退火爐,進口快速退火爐,采用大功率紅外線輻射方式,配合腔體內鍍金反射層,使單片硅片快速升溫。降溫時紅外線燈管停止工作,大流量壓縮空氣(或冷卻氮氣)迅速帶走腔體內熱量,實現快速降溫。
                二、快速退火爐主要技術參數(下述參數可根據需求調整)
                1、外型形式:臺式,單片硅片
                2、硅片尺寸:156*156方片,2-8寸硅片
                4、額定工作溫度:1000 ℃
                5、單點溫度穩定性、重復性:±0.5 ℃
                6、溫度均勻性:±1℃(900℃以上)
                7、升溫速率:0 - 100 ℃/S 可調
                8、降溫速率:0 - 100 ℃/S 可調
                9、恒溫時間:0 - 600 S
                10、加熱功率:18根(每根1.5KW)紅外線燈管,總功率27KW
                11、鋁合金爐膛:鋁合金水冷鍍金爐膛,導熱性能好,有效提高降溫速率
                12、石英爐膛:可拆卸結構,當爐膛內被煙霧污染導致升溫速率降低時,可將石英爐膛拆下清洗
                FT型快速退火爐選型和技術參數

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